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微流控器件最主要的加工方法是來(lái)自于微電子行業(yè)的光刻技術(shù)和來(lái)自于表面圖案化的軟光刻技術(shù)。在上述兩種技術(shù)的基礎上，為了制作完整的微流控微通道，一般還需要對兩片材料進(jìn)行鍵合。玻璃和硅片等材料通過(guò)高溫、高壓或高電壓等方法鍵合，而PDMS材料通過(guò)氧等離子處理進(jìn)行鍵合。 微流控芯片采用類(lèi)似半導體的微機電加工技術(shù)在芯片上構建微流路系統，將實(shí)驗與分析過(guò)程轉載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結構上，加載生物樣品和反應液后，采用微機械泵、電水力泵和電滲流等方法驅動(dòng)芯片中緩沖液的流動(dòng)，形成微流路，于芯片上進(jìn)行一種或連續多種的反應。 瀚宸提供微流控器件、微流控芯片加工定制服務(wù)。
| PDMS器件 | ·微米級別線(xiàn)寬，采用高精度模具 |
| 硅流道器件 | ·納米級別線(xiàn)寬，可控精度±5%以?xún)?，流道最大深寬比可達20:1 |
| 玻璃流道器件 | ·微米級別深度，可控精度±10%，深寬比可達1：2 |